5.6.2.4. Инверсно-магнетронный манометр

Характеристика тока Iс в функции давления р имеет вид

причем для большинства газов 1,10 ≤u≤1,15 в пределах давлений 10-4 — 10-9Тор и u = 1,26 для давлений 10-8 — 3•10-13Тор.

Неопределенность измерений манометра этого типа составляет 50—200% в зависимости от диапазона давлений, в котором работает датчик, а также от других условий (например, «истории» изменения давления в системе). Однако чувствительность этого манометра во много раз выше, чем, например, манометра Баярда — Альперта.