5.6.1.9. Токи утечки

Здесь Ij/е — количество ионов, захватываемых в течение 1 с коллектором. С учетом формул (1 4) и (2.26) выражение (5.83) преобразуется к виду

где V — откачиваемый объем. Скорость откачки манометра

пропорциональна коэффициенту чувствительности К и анодному току Iе. Скорость откачки Sр, дополнительно возрастает за счет связывания части ионов на стенках баллона.

Например, при Т = 293 К, к = 1,04•10-19, е = 1,6-10-19 Кл, К = 20 Тор-1 и Iе = 5 • 10-3 А получаем Spj = 0,02 л • с-1. Разумеется, Sр, зависит от свойств газа, в частности от его способности к связыванию на коллекторе и стенках.

Кроме ионной откачки, может иметь место химическая откачка активных газов в результате их реакции с горячим катодом.