5.6.1.20. Манометр с криволинейным пучком ионов

В дефлекторе поток ионов, имеющих энергию 250 ± 5 эВ, отклоняется, ионы попадают в отверстие 2 экрана (также заземленного) и через сетку S (с отрицательным потенциалом Us≈90 В) доходят до заземленного (через измеритель тока Iс) коллектора. Сетка S удерживает электроны, которые могут эмиттироваться коллектором. При размерах отверстия 2 ~6,5 X X 13 мм коэффициент чувствительности манометра К составляет — 16 Тор-1, что для тока Iе= 10 мА дает чувствительность S = 0,15 А-Тор-1.

Ионная оптика должна быть такого рода, чтобы пучок ионов при столкновении с пластинками дефлектора не создавал вторичных заряженных частиц (электронов или ионов), которые бы могли достигать коллектора. Оптимальные условия получают, придавая специальную конфигурацию пластинкам дефлектора и подбирая соответственно напряжения UD2 и Us

Предполагаемое предельное давление, обусловленное рентгеновским током и другими помехами, для этого манометра составляет — 5•10-13 Тор. По-видимому, основной недостаток манометра связан с наличием значительных масс металла и его больших поверхностей, соприкасающихся с вакуумом. Максимальный размер системы электродов манометра составляет ~ 70 мм.