5.6.0. Недостатки ионизационных манометров

С учетом этого ионизационные манометры (в особенности предназначенные для очень высокого вакуума) должны быть тщательно обезгажены путем прогрева корпуса и электродов (например, электронной бомбардировкой), а трубки, соединяющие их с вакуумной системой, должны иметь как можно более высокую проводимость для того, чтобы было возможно свободное движение газа между манометром и контролируемым объемом. Лучше всего этим требованиям удовлетворяют манометрические датчики без корпуса, введенные внутрь контролируемого объема. За пятьдесят лет, прошедших со времени изобретения ионизационного манометра, было разработано много различных схем и конструкций вакуумных манометров такого рода.

Важную роль в ионизационных манометрах играет электрическое поле; иногда в дополнение к нему используется магнитное поле.

Ионизационные манометры можно разделить на две основные группы:

1)Манометры с контролируемой ионизацией (электронные и радиоизотопные);

2)Манометры с неконтролируемой ионизацией (электроразрядные) .

Ионизационный вакуумный манометр состоит из манометрической трубки (датчика) и соединенного с ней проводами контрольно-измерительного блока. Этот блок служит для питания датчика и для измерения ионного тока (в частности, усиленного); одновременно он питает манометр электрическим током, необходимым для обезгаживания датчика.