5.10.2. Методы обнаружения течей

Методы обнаружения течей в вакуумных системах. Среди них различают методы статические и динамические.

При использовании статического метода в исследуемой системе (предварительно откачанной) давление, измеряемое каким-либо датчиком, постепенно возрастает вследствие притока воздуха через течь. Когда в течь вводится легкопроникающий пробный газ (например, гелий), его парциальное давление быстро растет, что можно заметить по показаниям датчика давления, особенно если датчик более чувствителен к используемому газу1); это явление используется в масс-спектрометре, настроенном на определенный пробный газ.

1)Аналогичный эффект дают пары некоторых органических веществ (например, спиртов), по отношению к которым манометры обычно имеют высокую чувствительность.

При использовании динамических методов (которые в настоящее время нашли широкое применение) исследуемая система непрерывно откачивается таким образом, чтобы давление в ней поддерживалось постоянным. В остальном поиск и оценка течи не отличаются от соответствующих операций статических методов.