4.9.2.4. Пример конструкции триодного электроразрядного насоса

 

Фиг• 4 134 представлена типовая характеристика насоса номинальной скоростью откачки ~120 л•с-1 вес этого наcoca составляет ~60 кг, диаметр 300 мм, высота 300 мм Насос снабжен блоком кондиционирования энергии, вырабатывающим высокое напряжение питания и обеспечивающим автоматическое регулирование мощности

Максимальные скорости откачки триодных электроразрядных насосов составляют 10—500 л•с-1. Насосы без кожуха имеют на 10—20% большую скорость откачки Насос (после снятия постоянных магнитов) можно прогревать до 1120—•1130 К. Эти насосы нельзя употреблять при давлении выше 10-6 Тор. Насос полностью стабильно работает при давлениях ниже 10-7 Тор. Представленная на фиг. 4.134 прерывистая кривая иллюстрирует типичную зависимость электрического тока в цепи насоса от давления. Этот ток приблизительно пропорционален размерам насоса (и скорости откачки).

Недостатками триодных насосов по сравнению с диодными являются повышенный износ сетчатого катода, более быстрый нагрев насоса при работе и более значительная десорбция газов.

На фиг. 4.135 показана типовая откачивающая система, в которую входит ионный насос. Эта система состоит из трех цеолитовых насосов (включенных последовательно) и вакуумной камеры, в которой помещаются низкотемпературный сублимационный и ионный насосы. На фиг. 4.136 представлена характеристика скорости откачки этой системы.

ПредыдущаяСледующая