4.9.2.2. Механизм откачивания электроразрядного двухэлектродного насоса

Для давлений выше 5•10-5 Тор скорости откачки невелики; они возрастают по мере снижения давления и при p≈10-6Тор достигают максимума, а зачем снова уменьшаются (вдвое при давлении ≈5•10-10 Тор).

Особенно много забот при откачке доставляет аргон, содержание которого в воздухе составляет ≈1%. Так как скорость откачки аргона примерно в 100 раз меньше скорости откачки воздуха, в насосе постоянно имеется избыток аргона. Аргон откачивается путем замуровывания его ионов в поверхность катода (вне кратеров) вплоть до момента насыщения. После этого ионы аргона, ударяющиеся о поверхность титана, начинают освобождать замурованные ранее ионы; в результате происходит повышение давления, затем интенсивное распыление титана и снова быстрое откачивание аргона, вплоть до следующего момента насыщения. Это явление свойственно диодным насосам и называется аргонной нестабильностью.