4.9.2.1. Электроразрядные двухэлектродные насосы

Электроды помещены в магнитном поле с индукцией В, направленном вдоль оси системы электродов. В результате бомбардировки катодов ионами металл распыляется и покрывает тонким слоем анод и стенки баллона. В качестве материала для электродов, в первую очередь катодов, обычно применяется титан.

Напряжение между анодом и катодом находится в пределах 2—10 кВ, а магнитная индукция — в пределах 0,01—0,2 Т.

Для получения большой скорости откачки соединяют параллельно большое число откачивающих элементов. Обычно анод имеет ячеистую конструкцию (наподобие восковых сот — фиг. 4.131, 4.132), а катод состоит из двух титановых пластинок, расположенных по обе стороны анода. Вся анодно-катодная система помещена в пространство между полюсами сильного постоянного магнита. Перед прогревом насоса эти магниты обычно снимаются.

В процессе разряда распыляемый из катода титан оседает на аноде, на противоположном катоде, а также на поверхностях корпуса насоса, связывая химически активные газы. Неактивные газы также частично адсорбируются, благодаря тому что их ионы после ускорения в магнитном поле внедряются в поверхность катодов.

Титановый катод в местах, расположенных напротив отверстий в анодах, подвергается постепенной эрозии (ресурс работы катода составляет ~ 50 000 ч). В местах, соответствующих перегородкам, происходит утолщение катода в результате осаждения титана (который замуровывает там неактивные газы). Этот эффект показан на фиг. 4.132, а.