4.9.1.2. Ионно-сублимационные триодные насосы

На фиг. 4.125,6 приведены кривые зависимости скорости откачки от давления для некоторых газов.

Ионно-сублимационный насос с испарителем титана.

На фиг. 4.126 представлена схема небольшого стеклянного ионно-сублимационного насоса, состоящего из испарителя титана (титановая проволока, намотанная на вольфрамовый стержень), рабочего (К') и запасного (К") катодов и коллектора С. Титан, испаренный (сублимированный) путем нагревания вольфрамового стержня, оседает на стенках баллона и откачивает активные газы. Электронный ток (~1 мА), текущий от катода К' к испарителю Тi (имеющему потенциал +170 В относительно катода), ионизирует газы, а образовавшиеся ионы, ускоряемые электрическим полем, внедряются в слой титана на стенках, где они, кроме того, могут быть замурованы непрерывно оседающим титаном. Коллектор (с потенциалом —30 В относительно катода) можно использовать для измерения ионного тока (чувствительность его ~10-3 А•Тор-1). Напряжение на выходах вольфрамового стержня испарителя составляет несколько вольт. Скорость откачки (при одновременной ионизации) различных газов этим насосом следующая: для азота 8 л•с-1, гелия 1,2 л•с-1, аргона 0,5 л•с-1; без ионизации скорость откачки для азота составляет 4 л•с-1.