4.9.1.1. Ионно-сублимационный насос с подачей титана

 

Например, при испарении титана со скоростью 5 мг•с-1 скорости откачки различных газов будут следующими: Sн2 = 3000 л•с-1, SN2= 2000 л•с-1, SO2= 1000 л•с-1, Sвозд=600 л•с-1, SAr = 5л•с-1. Диаметр корпуса такого насоса составляет ~40 см.

ПредыдущаяСледующая