4.8.4. Низкотемпературные сублимационные насосы

Емкость свеженапыленного слоя титана составляет ~1015 молекул на 1 см2. Мощность, потребляемая источником паров титана, составляет 150 А -20 В = 3 кВт. После получения с помощью диффузионного насоса давления 10-5—10-6 Тор и после обезгаживания источника титана охладительная рубашка заполняется жидким азотом и приводится в действие сублимационный насос. Через несколько минут давление снижается до уровня 10-8—10-10 Тор.

Теоретическая скорость откачки низкотемпературного сублимационного насоса диаметром 3 м и высотой 4 м с сорбционной поверхностью 18 м2 составляет ≈2•106 л•с-1. На входе в насос эта скорость уменьшается до 105 л•с-1. Насос в системе объемом 600 м3 при потоке десорбции 0,4 Тор•л•с-1 создает разрежение ~ 10-5 Тор, потребляя 2 кг титана за 2000 ч работы. Предельное давление в системе составляет ~10-9 Тор.

Низкотемпературные сублимационные насосы наиболее целесообразно использовать для откачки часто открываемых вакуумных систем, в которых затем должен быть быстро создан высокий вакуум.

В насосах этого типа некоторые затруднения создает титан, осажденный на стенках. Из него образуются пласты, которые отслаиваются и отпадают; их приходится время от времени удалять химическим или механическим способом (например, проволочной щеткой).