4.8.2. Сублиматор

На фиг. 4.120, а представлен участок вольфрамового стержня (предназначенного для большого сублимационного насоса) с намотанными титановой и молибденовой проволоками, а на Фиг. 4.120,6 показан сублиматор в сборе.

В некоторых сублимационных насосах титан наносится не путем осаждения паров, а анодным напылением; в этом случае он Распыляется из титанового анода при бомбардировке его пучком электронов (с током I~200 мА) при напряжении ~ 7 кВ. И катод, и анод в таких сублиматорах могут заменяться.

Ресурс такого сублиматора, работающего при давлениях <10-7 Тор, достигает 10 000 ч.

Испарение титана на вольфрамовом стержне обычно производится импульсами (продолжительностью, например, 2 мин); продолжительность перерывов между импульсами зависит от давления в откачиваемой системе; время покрытия поверхности мономолекулярным слоем газов обратно пропорционально этому давлению.

В табл. 4.18 приведены данные по продолжительности перерывов между 90-секундными импульсами в зависимости от давления р.

Наиболее эффективно титановые насосы работают в области давлений 10-6—10-9 Тор. При давлении выше 10-5 Тор титан быстро расходуется вследствие очень быстрого насыщения поверхности газом.