4.5.1. Адсорбционно-проточные и аккомодационно-эффузионные насосы

Работа адсорбционно-проточного насоса может быть описана следующими уравнениями.

Количество молекул, адсорбированных на 1 см2 поверхности в течение 1 с, выражается формулой

где γ— коэффициент прилипания, Θ — степень покрытия, р — давление над поверхностью, М0 — молярная масса, Т — температура газа. Если адсорбирующая поверхность одновременно бомбардируется электронным потоком с плотностью i, то количество десорбированных вследствие этого молекул равно

где ε— эффективность электронной десорбции (количество молекул, освобожденных одним электроном с зарядом е=1,6•10-19 Кл). Сравнивая формулы (4.69а) и (4.696), можно найти степень заполнения поверхности в состоянии равновесия (для данного тока i), а именно:

Эта поверхность при перемещении в камеру 1 откачивает газ с начальной скоростью

С течением времени по мере возрастания Θ (от значения Θ=Θ0 до Θ=1) скорость откачки S уменьшается. Затем поверхность, покрытая газом, перемещается из камеры 1 в камеру 2, где происходит десорбция газа. Для стабильной работы насоса необходимо соответствующим образом подобрать скорость вращения цилиндра и плотность тока i так, чтобы при данном давлении (р = р2) выполнялось условие [(ае/ε) (р/i)] ≤ С, где С — заданная постоянная величина, например 0,1.

Ориентировочно можно принять е≤10-3 мол•А-1 при энергии электронов в пределах между несколькими десятками и несколькими сотнями вольт.