4.3.1. Совместная работа насосов

характеристикам кривые производительности I= Sр = f(р) для обоих насосов представлены на фиг. 4.78.

Эти данные относятся к известным мощности подогревателя Ргр и давлению форвакуума р0<< 0, макс диффузионного насоса, а также скорости вращения N' и давлению на выходе ра ≈760 Тор для ротационного насоса.

На основании графиков S = f(р) можно проанализировать какое-либо определенное состояние откачивающей системы, работающей на вакуумную систему с определенным притоком газа.

Предполагается, что давление на входе в диффузионный насос имеет постоянное значение р' = 10-4 Тор. Этому давлению соответствует скорость откачки диффузионного насоса Sдифф = = 200 л•с-1 и производительность Iдифф=200•10-4=2• 10-2 Тор•л•с-1 (точка А на фиг. 4.78).

Не меньшую производительность должен развивать ротационный насос. Из кривой Ip=f(p) для Iр = 2•10-2 Тор-л-с-1 находим давление р0 = 7•10-2 Тор (точка В"). Оно меньше, чем р0, макс = 10-1 Тор, которого требует диффузионный насос1).

Можно также оценить, что произойдет, если вследствие увеличения притока газа давление на входе в диффузионный насос возрастет до р"= 10-3 Тор. Скорость откачки ротационного насоса при этом уменьшится до S”р = 40 л•с-1, а производительность диффузионного насоса увеличится до Iдифф = 4•10-2 Тор•л•с-1 (точка А'). Этой производительности соответствует давление форвакуума р0 = 10-1 Тор (точка В'), т. е. уровень давления р0, макс окажется предельным, и в случае небольшого уменьшения скорости откачки ротационного насоса может произойти запирание диффузионного насоса.

В качестве примера неправильно подобранного форвакуумного насоса может служить ротационный насос, характеристики которого представлены на фиг. 4.78 штриховыми линиями. При давлении р = 10-4 Тор этот насос не подходит для диффузионного насоса (точка С") и тем более не обеспечит его работу при давлении р= 10-3 Тор (точка С’). Возможно, удастся несколько повысить эффективность откачивающей системы путем увеличения мощности испарителя диффузионного насоса, что позволит работать при несколько повышенном давлении форвакуума Ро, макс•

1) Вследствие того что давление на выходе из диффузионного насоса окажется ниже, чем р0, макс, произойдет некоторое увеличение скорости откачки диффузионного насоса; это повлечет за собой увеличение его производительности (смещение точки А вверх) до уровня, соответствующего снизившемуся давлению р0 и новой производительности ротационного насоса.