4.3. Совместная работа диффузионных и ротационных насосов

Диапазон производительности масляных ротационных насосов, как это следует из данных табл. 4.1, вообще значителен. Он зависит в основном от типа и конструкции насоса. В насосах старых типов при давлениях порядка 0,1 Тор производительность очень мала. В хороших современных насосах благодаря использованию больших проходных сечений, а также

уменьшению вредных пространств производительность насосов при давлении 10-3 Тор еще удерживается на уровне ~25% производительности при 760 Тор.

Выбор форвакуумного насоса для диффузионного насоса

Параметры форвакуумного насоса, соответствующего данному диффузионному насосу, определяются исходя из уравнения неразрывности течения газа

где рр — давление на входе ротационного насоса (т. е. на выходе диффузионного насоса, или же давление форвакуума р0); рдифф — Давление на входе в диффузионный насос (или же рабочее давление р). Для надежности в работе должно иметь место неравенство

Так как и Sp, и Sдифф являются функциями давления, то услоение (4.62) должно выполняться даже в наиболее неблагоприятном случае, а именно:

где Рмакс — максимальное рабочее давление диффузионного насоса, ро, мин—минимальное давление форвакуума, Sдифф, макс— максимальная скорость откачки диффузионного насоса, SР, мин—скорость откачки ротационного насоса при р0, мин•

В условии (4.63) учтен некоторый запас, связанный с тем, что Рмакс и Sдифф, макс не имеют места одновременно.

Таким образом, скорость откачки форвакуумного насоса должна определяться из условия