4.2.2.22. Эксплуатационные характеристики

Другой особенностью масляных диффузионных насосов по сравнению с ртутными является меньшая мощность их подогревателей.

Как уже упоминалось, диффузионные насосы обычно имеют несколько ступеней, причем первая ступень бывает эжекторной, что позволяет иметь давление форвакуума порядка 1—2 Тор, тогда как для насосов, в которых первая ступень диффузионная, давление должно быть порядка сотых долей тора.

Здесь следует напомнить о роли паров рабочего тела в предельном вакууме. Их давление влияет не только на р∞, но и на ход характеристики откачки в том случае, когда давление на входе в насос измеряется манометром общего давления (фиг. 4.73).

Таким образом, предельное давление диффузионного насоса зависит от различных факторов: рода масла, материалов прокладок, отражателя, ловушек, степени прогрева насоса и т. п. В случае хорошо спроектированной откачивающей системы с ловушками, охлаждаемыми азотом, можно получить предельное давление порядка 10-10—10-12 Тор и даже ниже, особенно при откачке стеклянных сосудов с помощью стеклянных (или кварцевых) насосов. Наибольшее влияние на предельное давление оказывают встречная диффузия газов из форвакуума и степень дегазирования масла.

Здесь следует обратить внимание на возможность значительных расхождений между давлением паров масла рп при определенной температуре конденсатора (или отражателя), и предельным давлением р∞, измеряемым ионизационным вакуумным манометром на входе в насос. Величина р∞ может быть даже на 2 порядка выше давления паров при соответствующей температуре. Одна из причин этого состоит в том, что чувствительность вакуумметра к парам углеводородов много выше (примерно в 10 раз), чем к воздуху или азоту, по которым обычно производится градуировка приборов. Кроме того, может происходить разложение паров масла в вакуумметре под влиянием горячего катода. Десорбция газов в системе вакуумметра также приводит к повышению давления. На фиг. 4.74 представлены зависимости предельного давления и давления паров от температуры для

температуры для масла силикон 703, которые иллюстрируют указанное расхождение.