4.2.2.11. Подключение нескольких диффузионных насосов и многоступенчатые диффузионные насосы

Многоступенчатый диффузионный насос является своего рода реализацией последовательного соединения нескольких диффузионных насосов в общем корпусе. В таком насосе обычно применяются общий испаритель и общий паропровод для питания

сопел отдельных ступеней (фиг. 4.56). Скорость откачки насосов определяется скоростью откачки первой ступени со стороны входа в насос.

Из условия неразрывности откачиваемого потока газа I для всех откачивающих паровых струй должно выполняться соотношение

где Si и рi, — соответственно скорость откачки и давление для 1-й ступени насоса. Однако для работы каждой ступени с некоторым запасом желательно, чтобы имело место неравенство

Соотношение р < р3 < р2 < р1 показывает, что для каждой последующей ступени площадь диафрагмы может быть меньше.

Эффективная работа ступеней насоса зависит от правильного распределения пара между соплами. Это достигается путем подбора размеров расходных отверстий и обеспечения соответствующего распределения температуры.

Часто первая ступень насоса является эжекторной ступенью; это значит, что вместо сопла (например, тарельчатого), образующего коническую поглощающую диафрагму с большой поверхностью, применяется сопло (или несколько сопел) малого диаметра, дающих короткую, но плотную струю пара. Эжекторная ступень позволяет ограничиться более высоким давлением форвакуума.