4.2.2.10. Зависимость скорости откачки диффузионных насосов от рода газа

где Sх — коэффициент, значения которого для некоторых газов приведены в табл. 4 5.

Зависимость скорости откачки диффузионных насосов от давления. Более строгий анализ приводит к следующей зависимости скорости откачки в диафрагме ог давления:

В выражении (4.59) параметр С, как и в формуле (4.47), зависит от конструкции насоса, а также от свойств рабочего тела и откачиваемого газа.

При р >> р∞, т. е. когда скорость откачки существенна, получаем (p1/p)exp{—С} << 1, и выражение (4.59) принимает вид формулы (4.54). По мере того как давление р уменьшается и приближается к р∞, числитель выражения (4.59) также уменьшается, и при р = р∞ получаем

С другой стороны, когда р возрастает и приближается к р1 скорость откачки S0,п может снова начать уменьшаться и стать малой величиной, вследствие невыполнения условия р << рп. Распределение давления газа в струе паров также изменяется с изменением р, как это показывают кривые на фиг. 4.55. Кривая 0 соответствует условию р = р∞, а кривые 1 и 2 — большим значениям давления на входе в насос (p2>р1)• При этом несколько изменяется также давление на выходе из насоса р1 (при постоянном давлении форвакуума Рфвак = const, фиг. 4.55).