4.2.1.3. Принцип работы
Молекулы газа через входное отверстие насоса попадают на быстро вращающиеся лопатки ротора и, как в молекулярном насосе, получают при соприкосновении с лопатками ротора тангенциальные составляющие скоростей в направлении выхода из насоса. После многократных отражений от лопаток ротора направляемые лопатками статора молекулы доходят двумя потоками (налево и направо) до торцов насоса, а оттуда — к его выходу, у которого существует форвакуум (порядка 10-2 Тор).
Ниже приведены данные турбомолекулярного насоса (по Беккеру, 1958 г.), конструкция которого в принципе близка конструкции, представленной на фиг. 4.33. Насос имеет 19 дисков с лопатками, из которых 13 предназначены для откачки, а 6 — для сжатия газа; каждый диск имеет 40 лопаток; диаметр ротора равен 170 мм; зазор между ротором и статором составляет ~1 мм; скорость вращения ротора равна 16 000 об/мин; мощность приводного двигателя составляет ~0,3 кВт; время запуска не превышает нескольких минут; скорость откачки достигает 150 л/с. При скорости откачки 5 л/с и давлении форвакуума ~ 10-3 Тор с помощью этого насоса можно получить предельный вакуум порядка 10-10 Тор. На фиг. 4.33, в представлена зависимость предельного вакуума от давления форвакуума для воздуха и водорода. Высоковакуумная часть насоса с целью обезгаживания нагревается до ~420 К
В последнее время созданы насосы со скоростями откачки до 10 000 л/с при частоте вращения ≈10 000 об/мин, обеспечивающие предельный вакуум р∞<5•10-10 Тор.
На фиг. 4.34 схематически показан турбомолекулярный насос типа ТМ-400 типа ТМ 400 (фирма Leybold-Heraeus) с вертикальным расположением ротора (1971 г.).
© 2008 - 2026 «Тула-Терм»
