4.10. Эксплуатационные характеристики сорбционных насосов

Однако основным достоинством сорбционных насосов считается отсутствие в них паров органических веществ, что является главным требованием для высокочистых вакуумных систем. В настоящее время большинство исследовательских технологических процессов и все большее количество производственных процессов проводится с использованием вакуума, создаваемого сорбционными насосами, которые включаются после форвакуумных и цеолитовых насосов.