3.7.4. Газовыделение с поверхности плоской пластины конечной толщины

Если пластину толщиной L, содержащую газ при концентрации nr0, поместить в высокий вакуум, с обеих ее поверхностей начнет выделяться газ, мгновенный поток которого через единицу поверхности будет равен

Количество газа, выделившегося за время т, определяется формулой

Распределение концентрации газа внутри пластины в зависимости от времени и расстояния от поверхностей представлено на фиг. 3.22. Оказывается, что сложное выражение (3.71) в случае толстых плоских пластин может быть заменено соотношением (3.69).

3.7.5. Течение газа в стенках конечной толщины

Рассуждения в разд. 3.7.4 касались установившегося течения газа сквозь стенку толщиной L. В случае неустановившегося течения, когда внутрь стенки толщиной Ь (предварительно полностью очищенной от газов) от одной из ее поверхностей начинает диффундировать газ под давлением р2, он достигнет другой поверхности по истечении определенного времени т0 и только после этого начнется его десорбция с другой поверхности (внутрь вакуумной системы). Если давление р2 значительно больше, чем р1, то полное количество газа, которое проникает сквозь стенку за время т (относительно большое), может быть выражено формулой

где nr2 — концентрация газа у поверхности стенки со стороны давления p2, τ0 — время, необходимое для продвижения фронта

волны газа (так называемое временное запаздывание, фиг. 3.23). Это время вычисляется по формуле

справедливой для т>т0.

При т>>т0, т. е. в случае установившегося течения, из выражения (3.72) получаем

Что согласуется с уравнением (3.61), если в нем принять р1<<р2• Зависимости Q1= f(τ) и I1 = f(τ) представлены на фиг. 3.23.