3.7. Проникновение газа сквозь стенки

Проникновение газа сквозь стенки сосуда является следствием растворения и диффузии газа, описываемых уравнениями (3.54) и (3.57) Количество газа, протекающего через 1 см2 поверхности стенки единичной толщины в течение 1 с, т. е. удельный поток I1, зависит от коэффициента диффузии D, коэффициента растворимости r и от давлений по обе стороны стенки Зависимость потока от давления более сложна, чем в случае течения свободного газа.

Если внутри вакуумной системы давление низкое, а снаружи атмосферное, то диффузия со стороны атмосферы растворяющегося в стенках газа может привести к проникновению некоторых атмосферных газов внутрь вакуумной системы. Это натекание газа может быть количественно определено некоторым потоком натекания.

В том случае, когда растворимость и диффузия невелики, время, необходимое для проникновения газа через стенку и установления стационарного потока, может быть относительно большим.