3.3. Десорбция газа

Интенсивность тепловых колебаний частиц твердого тела с повышением температуры возрастает, вследствие чего осевшие на поверхности тела молекулы (атомы) газа, удерживаемые силами связей, могут освободиться. Это явление носит название термической десорбции адсорбированного газа1). Чем слабее связь адсорбента с поверхностью, тем ниже температура, при которой начинается десорбция. Так, например, десорбция инертных газов может происходить даже при низких температурах, тогда как активные газы, энергия связи которых с поверхностью велика, с трудом десорбируют даже при высоких температурах (этим объясняется сложность очистки, например, окисленных поверхностей). Явление десорбции могут вызывать и другие факторы, например бомбардировка поверхности различными частицами (электронами, ионами), механическое трение и даже световое облучение определенной длины волны.

Десорбция газов представляет интерес для техники высокого вакуума в двух аспектах: во-первых, в отношении удаления газов с поверхности для получения высокого вакуума, т. е. при обезгаживании масс и поверхностей вакуумных систем, и, во- вторых, с точки зрения сохранения высокого вакуума, т. е. предотвращения выделения газов с поверхности в объем.

Из предыдущего следует, что обезгаживание во время откачки должно проводиться при возможно более высокой температуре, чтобы полнее удалить газы, даже очень сильно связанные с поверхностями, тогда как для предотвращения десорбции с поверхности (после прекращения откачки) следует поддерживать поверхности при возможно более низкой температуре, чтобы уменьшить десорбцию путем увеличения времени пребывания частиц газа на поверхности.

1)Освобождающиеся вследствие десорбции участки поверхности твердого тела могут быть заняты газом, диффундирующим изнутри тела на его поверхность.