2.11.2.2. Проводимость вакуумной системы

Если течение газа возникает вследствие разности давлений р2 и р1 в двух разных точках вакуумной системы, то отношение потока газа I к разности давлений р2 — р1 определяет проводимость (пропускную способность) вакуумной системы между указанными точками

Единицами проводимости являются см3•с-1, л•с-1, м3•ч-1, т. е. те же единицы, которыми измеряется объемная скорость течения.

Проводимость вакуумной системы и объемная скорость течения. Если в формуле (2 170) принять р1=0, а р2 обозначить как р, то эта формула примет вид

Сравнивая выражения (2 171) и (2.161), можно записать

Это означает, что скорость откачки вакуумной системы равна ее проводимости, если на одном конце системы давление равно нулю, а на другом — величине р.

Сопротивление вакуумной системы. Обратная величина проводимости вакуумной системы называется сопротивлением (импедансом) этой системы:

(единицами сопротивления являются с•см-3, с•л-1, ч•м-3 и т. п.).

Аналогии между течением газа и течением электрического заряда. Из предыдущих формул следует, что между количеством газа Q, потоком I, разностью давлений р2 — р1 проводимостью G и сопротивлением W имеют место связи, аналогичные связям между электрическим зарядом Q, электрическим током I, разностью потенциалов U2—-U1, проводимостью G и сопротивлением R.

Формула (2.171) является, таким образом, эквивалентом закона Ома Подобные аналогии существуют также в отношении сопротивления и проводимости.

При параллельном соединении складываются проводимости:

При последовательном соединении складываются сопротивления