1.1.2. Применение высокого и очень высокого вакуума

Опуская рассмотрение вопроса о применении низкого и среднего вакуума для различных технических целей, например сушки обезвоживания, насыщения, использования в пневматических устройствах и т. п., ограничимся краткой характеристикой применения только высокого и очень высокого вакуума.

Для первой области применений характерно требование концентрации газа в объеме ниже определенного уровня, поскольку здесь преследуется цель обеспечить движение частиц и молекул, свободное от соударений с молекулами или атомами газов либо другими частицами. В этом случае вакуум должен быть таким, чтобы длина свободного пробега молекул была больше характерного размера сосуда. Типичными примерами такого применения являются приборы с электронным потоком (электронные лампы, электронные микроскопы, кинескопы, рентгеновские лампы и т. п.) или с потоками других частиц (ускорители, плазменные и термоядерные установки), а также устройства с роторами, имеющими большую скорость вращения (гироскопы), и т. п.

Особенностью второй области применений является получение очень чистых поверхностей, свободных от адсорбированных газов. Обезгаженная поверхность остается чистой тем дольше, чем выше вакуум в системе.

Многие физико-химические исследования поверхностей, технология тонких пленок, различные процессы при производстве электронных приборов, особенно полупроводниковых, могут быть выполнены только в условиях высокого вакуума.