Глава 37.2 Модель перехода молекул газа

Масс-спектрометрические измерения парциальных давлений в откачиваемом объеме и экспериментальные данные турбомолекулярных насосов при стендовых испытаниях и в реальных усло­виях их работы на откачных постах свидетельствуют об их высо­ких эксплуатационных характеристиках и, в частности, об обеспе­чении ими безмасляного откачивания. При эксплуатации этого насоса ТМН, особенно при его остановке и последующем пуске, необходимо для обеспечения чистоты вакуума соблюдать некото­рые меры предосторожности, заключающиеся в предотвращении проникновения паров углеводородов через остановленный насос в откачиваемый объем. Проникновение паров масла из форвакуум­ного насоса часто удается предотвратить напуском во всасываю­щую полость насоса осушенного воздуха. При пуске, через не­сколько минут после включения, когда вращающийся ротор на­соса преграждает возможное проникновение паров углеводородов во всасывающую полость насоса, открывается клапан, устано­вленный на трубопроводе, соединяющем форвакуумный насос с ТМН. После достижения номинальной частоты вращения ротора ТМН всасывающая полость насоса соединяется с откачиваемой полостью.

Впервые процесс перехода молекул газа через межлопаточные каналы рабочего колеса с лопатками, установленными под опре­деленным углом к его торцовой поверхности, был рассмотрен Крюгером и Шапиро [20]. После столкновения с лопаткой колеса в точке А (рис. 153) молекулы газа рассеиваются в соответствии с диффузным законом. По принятой Крюгером и Шапиро теорети-

Аналогичные рассуждения могут быть проведены и для поясне­ния процесса перехода молекул газа, находящихся в хаотиче­ском тепловом движении, через выфрезерованные косые радиаль­ные пазы дискового рабочего колеса.