Глава 36.1 Расчет молекулярной ступени насоса при работе в молекулярном и вязкостном режимах течения
При использовании молекулярных ступеней в комбинированных насосах в качестве промежуточных или последних ступеней пакета возможна их работа в молекулярном и вязкостном режимах течения. Для получения расчетных зависимостей основных параметров ступени рассмотрим теоретическую модель Геде.
Заменив движение газа в канале ступени движением между двумя параллельными поверхностями 1 (рис. 149) и 2, движущимися со скоростями иг и иг в направлении оси ОХ, полагая, что