Глава 35.2 Схема молекулярного вакуумного насоса

В молекулярном насосе цилиндрического типа со спираль­ным каналом вдоль поверхности ротора (рис. 144) (насос Холь- века), в отличие от насоса Геде, каналы образованы поверх­ностью ротора 1 и винтовой канавкой 3, выполненной в корпусе 2. В такой конструкции объем перетекающего газа уменьшен путем устранения отсекателей. Газ, поступая через всасывающий патру­бок 5 в полость 4 в центре насоса, попадает в винтовые канавки 3 и, разделяясь на два потока, перемещается вправо и влево до выхода в нагнетательные полости 6, из которых отка­чивается форвакуумным на­сосом. Ротор насоса приво­дится во вращение электро­двигателем, роторная обмот­ка 8 которого расположена на валу консольно и отде­лена от статора 7 электро­двигателя тонкостенным гер­метичным стаканом 9. При таком выполнении передачи вращения на ротор внутрен­няя полость насоса полностью изолирована от внешней среды. Глубина паза изменяется от центра к периферии. В молеку­лярном насосе Зигбана (рис. 145) дискового типа спиральные каналы выполнены в торцовых крышках. Внутри корпуса 3 вращается диск. Газ из всасывающего патрубка 1 посту­пает в спиральные каналы 4, 5 к 6. Таких каналов может быть несколько, например на рисунке показаны три спирали. Газ по спиральным каналам от периферии диска перемещается к центру и через отверстия 7 откачивается форвакуумным насосом.